O2——O2 + E (1) O2——2O (2) O2 + E——O2 + E (3) O2 + E——O2 + HV + E (4) O2 + E——2O + E (5 ) ) O2 + E——O + O + + 2E (6) 第一个方程表明氧分子在接受外界能量后变成氧阳离子，等离子刻蚀设备图片
