(2) 物理反应等离子体中的离子主要用于纯物理撞击，非极性材料附着力促进剂破坏材料表面的原子或附着在材料表面的原子。离子的平均自由基为：因为它又轻又长又储存能量，离子能量越高，物理冲击的影响就越大。因此，如果物理反应是主要因素，控制降低压力。为了进一步说明各种设备的清洁效果，进行反应以提高清洁效果。
