由于这些自由基电性重、寿命长、离子多于离子，附着力促进剂和流平剂因此它们在等离子体中发挥着重要作用，主要是由于自由基的“活化”作用。化学反应过程中的能量转移。被激发的自由基具有很高的能量，因此很容易与表面分子结合形成新的自由基，而新形成的自由基也变成不稳定的高能态。此外，当产生新自由基的自由基与
