被清洗层在高能粒子的活化作用下，附着力与摩擦力的区别会产生热冲击、活化分解、热膨胀等一系列物理化学反应，以达到将污染物从工件上分离的目的。不同类型的工作气体可用于处理不同的表面污染物。例如，混合等离子体气体可以清洗基材表面的有机污物，也可以清洗基材表面的氧化物。。等离子体清洗机加强材料的附着力提高材
