在真空腔体里，附着力与表面粗糙度有关吗通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的。等离子体处理可以被纳入导电、半导电以及非导电的应用中。等离子清洗表面的有效方法是去除杂质、污染物、残留物和有(机)化合物。这一过程被称为微清洗或蚀刻，为
