相对而言,阳极电泳附着力干洗在这些方面具有较大优势,尤其是基于等离子清洗技术的清洗技术已逐步应用于半导体、电子组装、精密机械等行业。因此,有必要了解等离子体清洗的机理和应用过程。等离子体技术自20世纪60年代以来已应用于化学合成、薄膜制备、表面处理和精细化工等领域。近年来,等离子体聚合、等离子体刻蚀