选择合适的反应气体和工艺参数可以促进独特的反应，镀层致密性和附着力的关系形成不寻常的聚合物附着和结构。通常可以选择反应物来使等离子体与基底材料反应，从而产生挥发性附件。这些处理过的材料表面的附着物可因解吸而被真空泵抽走，无需进一步清洗或中和即可实现表面的蚀刻。。低压等离子体表面处理技术&等离子体清洗
