有大量的气流。 ，电池等离子清洁机并可实现整体和局部清洗以及复杂结构。由于等离子清洗过程中不使用化学溶剂，所以基本干净，对环保有用。此外，制造成本低，清洗均匀性、再现性、可控性好，易于量产。等离子清洗有望在微电子封装领域有广泛的应用。等离子清洗技术应用的成功取决于工艺参数的优化，例如工艺压力、等离子
