等离子体清洗设备特点：1）采用13.56MHz射频电源，铸铁漆膜附着力配有自动阻抗匹配器，可提供稳定的处理过程；2)PLC控制方式，人机界面，联锁安全，控制可靠，操作方便；3）工艺参数匹配管理，工艺柔性化；4）内置所有功能组件，机制检测错误：等离子清洗设备作为精密干洗设备，适用于混合集成电路、单片集
