铜晶界上的空位在应力梯度作用下移动聚集形成空洞。铜互连孔底部是由多种金属材料组成的不连续结构，铜与铝的附着力哪个好一点其应力相对较小，空位倾向于向通孔底部移动和聚集，周围的铜晶界以及铜与介质阻挡层的界面提供空位。当单个通孔放置在宽铜线上时，这种影响很严重，因为宽铜线可以提供足够的空位，空位可以使孔不
