一些非聚合物无机气体（Ar2、N2、H2、O2 等）在高低频下被激发，电极表面活化能产生各种含有离子、激发分子、自由基等的活性粒子。一般来说，在等离子清洗中，活性气体可以分为两类。一种是惰性气体（Ar2、N2 等）的等离子体，另一种是反应气体（O2、H2 等）的等离子体。等离子体产生的原理如下。对一
