2.等离子表面处理技术可使表面有机质层灰化，金属膜层附着力测定仪器被有机化合物污染的表面受到化学轰击，在真空和瞬时高温条件下，部分挥发掉；受高能离子冲击，污染物破碎、真空带出；紫外辐射可破坏污染物。3.等离子表面处理技术需要替代繁杂的表面破损举措。金属氧化物会与处理气体发生化学反应，应使用氢或氩混合
