为了达到良好的等离子清洗效率,连接线等离子体清洁机需要掌握设备的使用原理和结构特点,根据封装工艺设计可行的等离子清洗箱和工艺流程。封装工艺直接影响引线框架产品的成品率。在整个封装过程中,产生问题的主要原因是晶圆和线框、氧化物、环氧树脂等污染物。不同污染物的环节不同,可在不同工艺前增加不同的等离子清洗