等离子蚀刻机——等离子板在擦拭等离子板之前去除污染物、有机污染物、卤素污染物如氟、金属和金属氧化物。等离子还能增强薄膜的附着力并清洁金属焊盘。半导体材料等离子蚀刻机等离子系统从硅晶圆上去除等离子系统，辽宁真空等离子处理机说明书以重新分布图案化的介电层，用于照相、剥离/蚀刻、加强晶圆使用数据和额外晶圆
