在实际使用过程中，软板plasma蚀刻方形结构的密封圈5不易变形，因此蚀刻加工设备存在问题。 DI1、底座1和托盘2接触不良，底座1和托盘2受毛巾影响。托盘2表面温度不均匀引起的热传递影响蚀刻过程的稳定性。其次，由于密封圈5的顶部和内部不易密封，反吹空间3不能充分密封，造成氢气泄漏，不仅起到减少
