真空泵选型：到底是选择国产的，贵金属对双极板表面改性还是进口的，是干式泵还是油泵，是单级泵，还是双极泵，每一种真空泵的选择都可以根据客户的实际需要，在此不再重复。空气路径选择：一般真空等离子体清洗机是双向气体，但这不能满足所有的加工要求，如果需要更多的反应气体，应适当增加气路，这也是根据用户的实际需
