等离子清洗机去除wafer键合胶光刻胶:等离子清洗机预处理晶圆的残留光刻胶和BCB,诏安定制等离子清洗机重新分配图形介电层、线/光刻胶蚀刻,提高晶圆材料表面的附着力,去除多馀的塑料密封材料/环氧树脂,还有其它的有机污染物,提高金焊料凸点的附着力,减少晶圆压力破碎,提高旋转涂膜的附着力 等离子清洗机