一、等离子表面处理机对材料表面的刻蚀作用：在物理作用下等离子体中的大量离子、激发态分子及自由基等多种活性粒子，常用的非离子型表面活化剂会作用到样品表面，能清除表面原有的污染物和杂质。此过程也会产生刻蚀作用，能够将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品表面的粗糙比例，提高了固体表面的粘合及浸润性
