建立了数学模型和算法,低温等离子体表面改性机理并开发了相应的计算机软件系统来指导和分析表面改性和涂覆工艺的设计,并预测其表面性能和使用寿命。高质量金刚石膜涂层技术及涂层工具产业化技术研究,以涂层的良好质量和均匀稳定可靠的性能为研究重点,提高金刚石涂层的沉积速率,完成相应的金刚石膜涂层刀片的设备设计、