等离子体源离子注入是用于材料表面改性的一种新型的、低成本的、非视线技术，薄膜附着力的测量现已成功应用于材料表面加工领域。由于材料上所加的电压很高，等离子体中的离子能够从中获得足够高的能量，从而穿透材料的表面，和晶格原子相碰撞，在材料表面薄层中产生新的化合物，形成新的金相组织结构。因此，通过等离子体源
