请检查并更换真空计。解决方法：检查真空计是否损坏，薄膜的电晕处理方法检查真空计控制电路是否开路或短路。9.如果紧急停止没有复位或按下，请打开紧急停止开关解决方法：检查急停是否按下。如果没有，请检查紧急停止线。。自动化清洗表面清洗可以定义为去除表面吸附的外来非必需物质的清洗过程，这些物质可能会对工艺流
