真空电晕清洗设备的原理主要取决于电晕中活性粒子的&ldquo；激活&rdquo；达到去除物体表面污渍的目的。电晕清洗设备的原理是在真空状态下，薄膜电晕机的工作原理压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间作用力越来越小，利用射频电源产生的高压交变电场将氧气、氩气、氢气等工艺气体振荡成高反应性或高能量的
