真空等离子体清洗机不同于常压等离子体。顾名思义，芯片plasma表面活化真空等离子体是在真空室内清洗的，需要抽真空。不仅效果全面，而且过程可控。如果清洗材料对清洗过程要求很高，比如需要达到多少达因值，或者材料本身易碎，比如ic芯片。那么真空等离子清洗机是最好的选择。大气等离子体与真空等离子体的上述区
