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它的控制器分为两个部分：1）主机电源：有三种处理器主频，电晕机一般开多少功率分别对应40kHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要主机功率匹配器。2）系统控制部分：分为按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC（液晶触摸屏控制）三大类2.真空室。真空室主要分为两种材料：不锈
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根据使用要求，改性处理表面对材料表面进行设计、对表面性能参数进行剪裁，使之符和特定要求，并进一步实现对表面覆盖层的组织结构和性能和预测等，已成为该领域重要研究方向。国外已对CVD、PVD以及其它表面改性方式开展计算机模拟研究，针对CVD过程进行模拟，采用宏观和微观多层次模型，对工艺和涂层各种性能和基
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