等离子腔清洗和等离子脱胶过程中产生的污垢大部分接近电子级，腻子粉附着力差是怎么回事将用真空泵清除。但也会有一些大颗粒的污染物。这些大颗粒的污垢会粘附在腔壁、电极和托盘上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底下落更严重。用不滴刷清洁腔壁，使腔壁内颗粒、灰尘、异物脱落，用吸尘器吸出污垢。用浸有酒精的脱脂布擦拭
