2.用等离子体聚合介质膜清洗沉积薄膜可以保护电子元件，材料亲水性分析用等离子体膜清洗沉积薄膜可以保护电子电路和设备不受静电荷积聚的影响，用等离子体沉积薄膜可以制造电容元件。3.等离子体改变基底表面的材料结构和性能。在加工过程中，工件温度比较低，不会使工件变形，保护精密零件质量，延长使用寿命。除上述等
