可见，聚酯附着力提高Ar和氧的混合蚀刻效果良好。虽然嵌段共聚物的选择性比不高，但下层材料的选择性比、线宽粗糙度和键尺寸定义都很好。由此可见，怎样提高饱和聚酯附着力虽然嵌段共聚物的选择性不高，AR和氧的混合刻蚀效果好，但是底层材料的选择性、线宽的粗糙度、极限尺寸的定义都不错.你可以看到它是。以前的纺织
