✲ 从微电子工业到航天器推进系统乃高效光源，电感耦合等离子体刻蚀系统原理及应用低温射频等离子体在各种前沿技术中扮演着重要的角色，而且它是物理学、化学及工程学之间相互交叉的一个学科。等离子体是一种包含自由运动的电子、离子的电离气体。等离子体通常非常接近电中性，也就是说，等离子体中的负电荷粒子的数密度等
