1959年,美国电晕处理机品牌美国贝尔实验室的Martin Atalla和Dawon Kahng研制出第一个绝缘栅场效应晶体管(FET)。他们的成功因素是通过控制“表面状态;电场可以渗透到半导体材料中。在研究热生长氧化硅层的过程中,他们发现在金属层(M)、氧化层(O绝缘)和硅层(S半导体