WLP预处理的目的是去除无机物，线路板等离子体清洁减少氧化层，增加铜表面粗糙度，提高产品的可靠性。。等离子清洗机在线路板行业中的应用；等离子体刻蚀所用气体多为含氟气体，以四氟化碳为主。等离子清洗机蚀刻广泛应用于晶圆制造和电路板制造。在晶圆制造行业中的应用；在晶圆制造行业，光刻机使用四氟碳气体对硅片进
