2、传输气体和能量的柔性导管。3、等离子喷头：由中间电极、外部电极和绝缘区域组成。 ● 高压射频发生器将常电压转变成高电压（超过10KV），表面改性处理的方法这对于形成高压放电是必须的。● 高电压和冷却的处理气体是通过柔性导管传输到放电区域的。 ● 气流中的活性元素(i+, e-, r *)会在放电
