与正离子相比，等离子高温区的温度大于当被平行板分离时碳阴离子更容易中性，主要是因为负离子分离时电子的能量远小于正离子的电荷转移，所以中和效率远优于阳离子，例如，阴离子氯离子的中和效率可以接近100%，而氯离子的中和效率只有60%左右。此外，对于电感耦合等离子体与平行碳板模式，在底部平行碳板上施加偏置
