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等离子，即物质的第四态，是由部分电子被剥夺后的原子以及原子被电离后产生文库来的正负电子组成的离子化气状物质。这种电离气体是由原子，分子，原子团，离子，电子组成。其作用在物体表面可以实现物体的超洁净清洗、物体表面活化、蚀刻 、精整以及等离子表面涂覆。根据等离子体中存在微粒的不同，其具体可以实现对物体处
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