本实用新型等离子处理装置提供一种等离子处理装置，等离子清洗设备直销包括具有空腔的外壳和设置在空腔内部的电极板，电极板的内部设有供冷却流体介质流动的流路。 .ing.优选地，所述冷却介质流入管和冷却介质流出管在电极板上间隔设置，冷却介质流入管与流路的入口抵接，冷却介质流出管为冷却液介质流出管。流路出口
