如果它在设备启动时出现，harrick plasma等离子清洗机真空泵请关闭真空门。 ②真空室门关闭等。如果发生此警报，请检查传感器和接线。 7 真空等离子清洗机真空泵的机械故障。检查真空泵的排气量，然后单击复位按钮进行故障排除。 （1）待加工产品出现严重漏气，有真空倒计时。时间短，在设备时间内无法
