很明显，等离子清洗机 官网处理过的铝基板优于氩气和氧气。此铝基板的个人实验大纲： 1。由于条件有限，不能使用其他气体实验，可能有更好的气体适合处理受污染的铝基板。 2.真空等离子清洗机的表面处理效果好，因为真空等离子清洗机的温度低，允许的处理时间长，没有二次污染。 3. 仍然很厚的污染物涂层很尴尬。
