1.1 灰化表面有机层- 表面受到化学冲击-在真空和瞬间高温下，等离子处理设备说明书污染物会部分蒸发-污染物被高能冲击离子和真空抽屉压碎- 紫外线破坏污染物等离子处理只能渗透到每秒几纳米的厚度，因此污染层不能做得太厚。指纹也可以。 1.2 氧化物去除金属氧化物与工艺气体发生化学反应该过程必须使用氢气
