plasma中，等离子刻蚀方向性的各向异性一方面，振动能按一定顺序增加到小的响应能量；另一方面，电子与分子的碰撞能传递更多的能量，使中性分子变为多个活性成分，或使中等活性成分电离，而新的成分则主要包括超活性中性粒子、阳离子和阴离子。传统的化学反应不能产生很多新的成分，但plasma却成为1种非常强大
