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等离子清洗机的GST相变记忆刻蚀工艺:GST是目前应用广泛的一种相变材料，刻蚀工艺其由等离子清洗机刻蚀的工艺是唯一的相变记忆工艺。等离子清洗机GST蚀刻气筛作为相变存储器的核心材料，GST的体积直接影响器件的电学性能，因此GST膜的完整性极为重要。以Cl、F、Br3等不同卤素气体作为等离子清洗机的主
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