等离子体表面处理技术可应用于材料科学、高分子科学、生物医学材料科学、微流控研究、MEMS研究、光学、显微镜和牙科等领域。正是这一广泛的应用领域和巨大的发展空间，南昌大气等离子设备使得等离子体表面处理技术在国外发达国家发展迅速。据调查数据显示，2008年全球等离子体表面处理设备总产值已达3000亿人民
等离子清洗较铅粘接工艺具有优势(1)低温，铝合金均匀化处理的目的高效工艺(2)干洗，宽型(3)清洗彻底无残留(4)工艺可控(5)运行成本低(6)环保技术，对操作人员无害，对环境友好。等离子清洗对航空产品的适用性随着航空工业的发展，精细化生产知道要逐步推进，需要开展先进的清洗技术研究工作来取代传统的溶
等离子体干蚀刻机制造商镓作为蚀刻机:除铟镓砷外，拉开法附着力脱落abc镓砷是一种被广泛期待的半导体材料，并且这两种材料经常被一起用于制造高性能器件。因此，有必要对这类半导体的刻蚀技术进行探讨和展望。用Cl2和BCl3混合气体对镓和砷半导体材料进行深孔刻蚀。蚀刻速率为6-8um /min，光刻胶作为掩