等离子清洗的使用可以很容易地通过在污染的分子级生产过程形成的去除，uv臭氧清洗机和等离子体清洗机能互相代替吗保证原子和原子之间的紧密接触工件表面附着，从而有效提高粘接强度，改善晶片键合质量，降低泄漏率，提高包装性能、产量和组件的可靠性。针对这些不同污染物并根据基板及芯片材料的不同，采用不同的清洗工艺
