即连杆与极板焊接时，等离子体电容定制的绝缘套管与焊接的连杆共同作用，与外部连接。腔的。使用真空室外部的导电条将它们连接在一起，然后将它们连接到等离子发生器的输出端。如果确认真空等离子处理设备需要使用水冷电极结构，焊接连接杆是中空结构，所以设计允许水通过连接杆，连接到外部射频......某些结构设计需
