在晶圆制造中可以使用氮化硅代替氧化硅。由于其硬度高，亲水性二氧化硅可以在硅片表面形成一层很薄的氮化硅膜（在硅片加工中，广泛使用的表示膜厚的单位有：保护表面，防止划伤。此外，由于其优异的介电强度和抗氧化性，可以获得绝缘效果。氮化硅的缺点是流动性不如氧化物，难于蚀刻。等离子蚀刻可以克服蚀刻的困难。 2
