等离子体表面改性技术已广泛应用于电子、机械、纺织、生物医学工程等领域。目前,等离子体物理考研学校低温等离子体与材料相互作用的研究在国际上已发展成为一个活跃的领域。研究它们相互作用的物理化学过程机理是微电子、固体表面改性、功能材料等材料领域的重要课题。低温等离子体具有高活性,在室温下可引起许多化学反应