它成本低、无废物、无污染，等离子体物理导论大几学并且可以提供传统物理和化学方法无法提供的处理效果。等离子表面处理技术作为一种新型的表面处理技术，有其自身的优势。等离子技术采用气相响应，整个过程中没有液体，响应迅速。具有高效、低能耗、环保等优点。等离子技术用于各种非常不同的目的，从微电子工业到集成电路
