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等离子体点矩原理(等离子体刻蚀与湿法刻蚀的各向异性是什么)

等离子体点矩原理(等离子体刻蚀与湿法刻蚀的各向异性是什么)

由于活性等离子体对被清洗物表面具有物理冲击和化学反应的双重作用,等离子体点矩原理使被清洗物表面材料变成颗粒和气态物质,通过真空排出达到目的。打扫。。等离子清洗机的清洗过程、分析效果和特点都不同于常规的溶剂清洗。等离子清洗机依靠其中所含的高能物质的“活化”来达到清洗表面的目的。材料。护理效果也很突出。