半导体等离子清洗设备选用铝合金质腔体的原因大致如下：1、铝合金密度低，等离子体清洗机 价位强度高，优于优质钢，具有较好的机械加工性能。2、铝具有良好的导电、导热和抗腐蚀性能。3、材料对化学反应的兼容性较好，不易产生金属污染，不会产生污染等。4、铝合金在表面处理方面比较丰富，包括电泳，喷涂，阳极氧化等
