例如惰性气体Ar2、N2等产生的搅拌等离子体主要用于物理清洗，等离子体技术二氧化碳转化书通过炮击效应对材料表面进行清洗，而反应气体O2、H2等产生的等离子体则作用于牙齿。主要用于化学清洗。清洁是活性自由基和污染物（主要是碳氢化合物）之间的化学反应，产生从材料表面去除的小分子，如一氧化碳、二氧化碳和水
