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干法刻蚀机功能原理(等离子体干法刻蚀原理)

干法刻蚀机功能原理(等离子体干法刻蚀原理)

等离子体产生的最主要是依靠电子气体原子碰撞,中性的气体原子分解和等离子体,但中性的气体核外围的电子结合能,我们可以叫它束缚,和电子能量必须大于外部世界的结合能,将有能力中性的气体原子电离,然而,这个外部的电子通常是能量不够,没有分离中性原子气体的能力,所以我们必须使用外部能量的方法给原子电子能量,所