(C)新官能团的形成-化学作用例如如果将反应气体引入放电气体中，等离子体表面处理仪怎么用活化材料外部是否会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃类、氨、羧基等，这些都是活性基团，可以显著提高材料的表面活性。电子与不同粒子在不同条件下的碰撞对新能源粒子的产生起着关键作用，促进了等离子体化学反应的发生
